本在線film膜厚測試儀應(yīng)用在透明及半透明材料的厚度或涂層的測量，包括半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠，玻璃減反膜測量，藍(lán)寶石鍍膜,ITO玻璃，太陽能鍍膜玻璃，各種襯底上的膜厚，膜的顏色測量，卷對卷柔性涂布，其他需要測量膜厚的場合等，無論有無底材或者底材是何種材料均無影響。應(yīng)用在精密半導(dǎo)體wafer,ITO玻璃，fpc或pcb膜厚，材料表面光學(xué)鍍膜，電鍍陽極處理，UV膠厚等領(lǐng)域。
原理介紹：
利用光譜反射測量PET涂布的膜厚和涂層厚度
質(zhì)量控制,生產(chǎn)過程控制
用于PET涂布膜厚和涂層檢測
軟件特點(diǎn)：
1、菜單管理
2、實(shí)時在線監(jiān)控和歷史數(shù)據(jù)界面
3、可根據(jù)客戶要求定制界面
運(yùn)動機(jī)械配置:
X軸測量 | 自動 |
測量最大寬度 | 2m（可根據(jù)客戶要求調(diào)整） |
X軸最大移動速度 | 0.1m/s |
單向掃描時間 | 18秒測18個點(diǎn)(標(biāo)準(zhǔn)) |
馬達(dá)傳動系統(tǒng) | 1套 |
大型滑軌 | 2.0m（可根據(jù)用戶要求調(diào)整） |
大支架 | 1套 |
控制箱+線槽 | 1個（PCB板，連線，電源，路由器） |
電腦配置
網(wǎng)線 | 25米超5類線 |
網(wǎng)絡(luò)適配器 | 路由器+其他網(wǎng)絡(luò)配件 |
電腦(臺式機(jī)一臺) | 19寸TFT顯示屏， Intel CPU ，鼠標(biāo)+鍵盤+3年保質(zhì)期 |
測量系統(tǒng)配置
反射（0度入射角）配件 | 光學(xué)器件，光源， 特殊機(jī)械配件， 光纖光譜儀，光纖， 硅片 |
技術(shù)參數(shù)(光學(xué)部分):
測試方式 | 膜面反射 |
波長范圍 | 380-820（可見光）濕膜/380-1050(可見光),干膜 |
厚度測量范圍 | 100納米-200微米（可見光） |
精度 | 0.5%(30次單點(diǎn)測量1階標(biāo)準(zhǔn)差) |
測量單點(diǎn)時間 | 小于1秒 |
測量點(diǎn) | 1mm (0度角反射) |
光源和壽命 | 鎢鹵素?zé)?平均預(yù)期壽命10,000小時 |
操作環(huán)境 | 5-35度；5-90%不結(jié)霜 |
入射角 | 0度角 |
表中的性能指標(biāo)還和材料，膜層結(jié)構(gòu)，粗糙度等有關(guān)
軟件
1套 | 一套測量軟件和膜厚仿真擬合軟件 |
軟件系統(tǒng)功能：
1、光譜反射，計(jì)算出膜厚參數(shù)； |
2、系統(tǒng)有手動、自動、系統(tǒng)校準(zhǔn)模式。手動模式時，可在計(jì)算機(jī)上控制測量，膜到位后，按測量按鈕即測量該點(diǎn)的光譜膜厚；自動測量模式時在膜到位后進(jìn)行自動測量；系統(tǒng)校準(zhǔn)模式時，檢查系統(tǒng)設(shè)置，硬件狀態(tài)等。 |
3、膜厚度的歷史趨勢曲線，豐富的公差和報警閾值設(shè)定功能，如可設(shè)定公差帶和報警閾值。 |
4、存儲、管理測量系統(tǒng)的測量結(jié)果，方便回溯 |
5．仿真不同角度的膜面反射反射光譜曲線?？捎糜谀は甸_發(fā)。 |
6、具有數(shù)據(jù)人工備份功能，以防數(shù)據(jù)意外丟失；系統(tǒng)安裝完畢后，提供系統(tǒng)備份硬盤，防止原始系統(tǒng)意外損壞； |
7、打印顏色參數(shù)掃描曲線，數(shù)據(jù)表，打印光譜曲線，打印屏幕圖像等功能； |
8、系統(tǒng)全部操作均在控制室內(nèi)計(jì)算機(jī)上完成。 |
