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_激光平面度檢測儀|全自動研磨拋光機|端子截面分析儀|手動影像測量儀

昆山華乃爾精密儀器有限公司

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在線film膜厚測試儀
【Product Name】在線film膜厚測試儀
【Product Category】光學膜厚測試儀
【Popular Products】6463
【Updated】2017/2/22 13:48:02
Details
在線film膜厚測試儀
在線film膜厚測試儀在線film膜厚測試儀

應用場合:
本在線film膜厚測試儀應用在透明及半透明材料的厚度或涂層的測量,包括半導體鍍膜,光刻膠,玻璃減反膜測量,藍寶石鍍膜,ITO玻璃,太陽能鍍膜玻璃,各種襯底上的膜厚,膜的顏色測量,卷對卷柔性涂布,其他需要測量膜厚的場合等,無論有無底材或者底材是何種材料均無影響。應用在精密半導體wafer,ITO玻璃,fpc或pcb膜厚,材料表面光學鍍膜,電鍍陽極處理,UV膠厚等領域。

原理介紹:
利用光譜反射測量PET涂布的膜厚和涂層厚度
質量控制,生產過程控制
用于PET涂布膜厚和涂層檢測

軟件特點:
1、菜單管理
2、實時在線監(jiān)控和歷史數(shù)據(jù)界面
3、可根據(jù)客戶要求定制界面

運動機械配置:

X軸測量

自動

測量最大寬度

2m(可根據(jù)客戶要求調整)

X軸最大移動速度

0.1m/s

單向掃描時間

18秒測18個點(標準)

馬達傳動系統(tǒng)

1套

大型滑軌

2.0m(可根據(jù)用戶要求調整)

大支架

1套

控制箱+線槽

1個(PCB板,連線,電源,路由器)


電腦配置

  網(wǎng)線

25米超5類線

 網(wǎng)絡適配器

路由器+其他網(wǎng)絡配件

 電腦(臺式機一臺)

19寸TFT顯示屏, Intel CPU

,鼠標+鍵盤+3年保質期


測量系統(tǒng)配置

  反射(0度入射角)配件

光學器件,光源, 特殊機械配件, 光纖光譜儀,光纖, 硅片


技術參數(shù)(光學部分):

測試方式

膜面反射

波長范圍

380-820(可見光)濕膜/380-1050(可見光),干膜

厚度測量范圍

100納米-200微米(可見光)

精度

0.5%(30次單點測量1階標準差)

測量單點時間

小于1秒

測量點

1mm (0度角反射)

光源和壽命

鎢鹵素燈 平均預期壽命10,000小時

操作環(huán)境

5-35度;5-90%不結霜

入射角

0度角

表中的性能指標還和材料,膜層結構,粗糙度等有關

軟件

  1套

一套測量軟件和膜厚仿真擬合軟件

軟件系統(tǒng)功能:


1、光譜反射,計算出膜厚參數(shù);

2、系統(tǒng)有手動、自動、系統(tǒng)校準模式。手動模式時,可在計算機上控制測量,膜到位后,按測量按鈕即測量該點的光譜膜厚;自動測量模式時在膜到位后進行自動測量;系統(tǒng)校準模式時,檢查系統(tǒng)設置,硬件狀態(tài)等。

3、膜厚度的歷史趨勢曲線,豐富的公差和報警閾值設定功能,如可設定公差帶和報警閾值。

4、存儲、管理測量系統(tǒng)的測量結果,方便回溯

5.仿真不同角度的膜面反射反射光譜曲線??捎糜谀は甸_發(fā)。

6、具有數(shù)據(jù)人工備份功能,以防數(shù)據(jù)意外丟失;系統(tǒng)安裝完畢后,提供系統(tǒng)備份硬盤,防止原始系統(tǒng)意外損壞;

7、打印顏色參數(shù)掃描曲線,數(shù)據(jù)表,打印光譜曲線,打印屏幕圖像等功能;

8、系統(tǒng)全部操作均在控制室內計算機上完成。

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