簡(jiǎn)單介紹
OLYMPUS MX61/61L 產(chǎn)品特點(diǎn)縮短檢查用時(shí)，提高檢查效率自動(dòng)聚焦附件 MX-AF透射光檢查照明 MX-TILLA/MX-TILLBMX專用的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀察。
MX61L 詳細(xì)介紹
■ 大型載物臺(tái)搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)
■ 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利
■ 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
■ 透射和反射照明可同時(shí)使用，極大提高液晶基板觀察效果
昆山華乃爾精密儀器有限公司
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